PECVD&离子注入机尾气处理装置国际招标公告（1）

（略）受招标人：（略）
告。本次招标采用传统招标方式：（略）
1、招标条件项目概况:PECVD&离子注入机尾气处理装置CVD：6台，IMP：1台资金到位或资金来源落实情况:已落实项目已具备招标条件的说明:已具备2、（略）:（略）20007/68招标项目名称：（略）
（略）产品名称：（略）
1PECVD&离子注入机尾气处理装置CVD：6台，IMP：1台（1）PECVD废气处理设备主要使用在平板显示工业中的PECVD领域，燃烧式废气处理设备用于处理SiH4,N2O,NH3,NF3,H2等气体（2）NF3：≥99%（3）SiH4：≥99%。（略）（略）
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2016年01月至今必须有同类型设备10台以上销售记录，用户反映效果良好（投标人需要提供业绩资料）。同类型要求：处理容量：CVD：≥5000SLM，IMP：≥1500SLM。（2）一旦中标，投
标人必须是与招标人：（略）
必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取：（略）