PECVD系统（带滑轨）管式炉采购结果公示

采购结果详细（（略）5）----深圳清华大学研究院申购单主题：PECVD系统（带滑轨）管式炉采购申购单位：（略）
申购备注：中标商必须开具增值税专用发票
设备名称：（略）
PECVD系统（带滑轨）（略）1国内含税价/人民币
规格1：▲电源：AC220V/50HZ·功率：3.0KW·（略）长度：200mm·最高温度：1200度(≤30min）·工作温度：1100度·热电偶：K型·智能化仪表，PID控制，30段程序控温·炉体可滑动位移：600mm·炉管尺寸：φ60*1400mm2：▲射频电源·功率输出范围：0-500W·功率稳定度：≤±5W·射频频率：13.56MHZ·自动匹配·噪音：≤50dB·冷却方式：（略）
中标供应商单价初选理由
（略）227500最低价原则
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