广东中科半导体微纳制造技术研究院2024年06月至2024年07月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位：（略）
（略）采购项目名称：（略）
1等离子去胶机采购项目标的名称：（略）
标的数量：1
主要功能或目标：使用等离子体对残留在晶圆表面的的光刻胶等黏附物质进行去除。
需满足的要求：1.（略）、（略）、低温与常温两种去胶工艺腔、RF射频源、Chiller/Pump；要求适用于8inch晶圆。2.（略）：1）气路≥5路；配备过滤器、手动隔膜阀；2）RF射频源：配备（偏置）射频发生器、匹配器；3.低温与常温去胶工艺腔：去胶效果均要求片内、片间批间的均匀性<5%；微粒（>0.2µm）增加量<30ea；4.工艺稳定性：1）电源输出功率、温度稳定且在一定范围内可调；
落实国家关项目于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位：（略）
本次公开的采购意向是本单位：（略）
广东中科半导体微纳制造技术研究院
2024年06月18日
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https://（略）.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/
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