华电院采购共聚焦射频磁控溅射系统 竞价公告（JJ24062109323834）

说明：各有关当事人对竞价公告内容有异议的，可以在竞价截止时间前通过规定途径提起异议，逾期将视为无异议，不予受理。
一、基本信息
（略）：JJ（略）834
项目名称：（略）
项目预算(元)：228,000.00报价方式：（略）
采购单位：（略）
最少报价家数：3联系电话：（略）
联系手机：******电子邮箱：（略）
异议反馈：******
开始时间：（略）:32:00截止时间：（略）:32:00
二、资格条件
资格条件：原厂或者原厂授权。
三、商务要求
付款方式：（略）
交付时间：签订合同后7天送货。
交付地址：（略）
质保期及售后要求：产品整机免费保修期不少于1年，需提供加盖制造商公章的售后服务承诺函编入响应文件。承诺设备投入使用后，若仪器发生问题，对相关的技术问题能在24小时内及时进行响应，供方可通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在1个工作日内仍不能解决问题，供方工程师应在其后48小时内赶到需方现场进行检修；若发生现场不能解决的问题，供方可将仪器（或故障部件）带回国内办事处进行处理，处理时间最长不超过15个工作日。质保期内，供方为检修仪器发生的所有费用由供方承担。质保期后，若仪器发生故障，供方可按相关定额标准收取相关服务费及材料费。若需方能将仪器邮寄到供方国内办事处进行修理，供方只收取相应的材料费。
其他要求：无
四、技术要求
（略）标的名称：（略）
1（略）1.00台微纳真空/VJC-300Pro是1.真空腔室：净空间尺寸不大于Φ450×H450mm，要求前开门，前门需配备观察窗，观察窗玻璃尺寸不小于Φ95mm，配至少一套方便拆卸的防污隔板；腔室、法兰、管道、防污隔板等均采用304无磁不锈钢材质；2.（略）：主泵分子泵抽速不小于2000m3/h，前级泵抽速不小于30m3/h，全量程数显复合真空计量程：1×105～1×10-5Pa；3.★真空极限：优于2.3×10-7Torr；4.抽速：抽至4.0×10-6Torr≤15min；5.基片台：根据客户要求定制的基片台，最大可处理基片不小于4英寸，基片台配一体式全尺寸挡板，挡板开合需要磁流体密封；基片台旋转：旋转速度0-25转/分连续可调，基片台旋转需要磁流体密封；基片台加热：PID智能温控表，控温范围室温～400°C；6.★溅射靶及电源：不少于2只圆形平面靶，靶面尺寸不小于φ60mm，可调整角度不小于±50°，可单靶轮流/双靶聚焦共溅射；直流电源不少于1台，要求可切换恒压，恒流，恒功率控制模式，电源功率可以预先设置；射频电源1台，频率13.56MHz，要求自动匹配；7.靶挡板：靶上有气动水平打开式挡板，角度与靶倾斜角度同步可调，要求磁流体密封；8.速率和膜厚监控：采用膜厚监控仪在线监控溅射速率和膜厚，1只水冷探头；膜厚仪速率显示分辨率±0.1ā/s，厚度显示分辨率±1ā；9.（略）：（略）工艺气体MFC控制，量程范围需满足工艺制备金属、金属氧化物的需要；10.（略）：PLC+（略），（略）的控制分为手动和自动二种模式，自动模式下，根据腔内压强自动执行相关泵，阀的启闭；可远程监控，软件使用期限：永久有效；11.辅件配置：冷却循环水机1台，制冷量不小于1P；
五、附件
（略）附件名称：（略）
本页面提供的内容由采购人：（略）