三温区管式CVD设备

待采购详细（（略）0）----深圳清华大学研究院申购单主题：（略）管式CVD设备申购单位：（略）
申购备注：中标商必须开具增值税专用发票
商品名称：（略）
（略）管式CVD设备贝意克BTF-1200C-IIIΦ60mm1国内含税价/人民币
规格一、高温管式炉：1.品牌：贝意克2.型号：BTF-1200C-IIIΦ60mm3.结构：开启式4.最高温度：1200℃工作温度达1100℃，主动性炉壳冷却降低炉表温度5.额定功率：7KW；额定电压：AC208-240VSinglePhase，50/66.加热元件：电阻丝7.智能化30段可编程控8.炉管尺寸：高纯石英管Φ60*1400mm，（略）PCG550英福康INFICON），并含有配套使用的波纹管，手动挡板阀，卡箍等连接部件。设备冷态极限真空可达0.5Pa。四、（略）1.（略）的控压范围：100Pa~100KPa2.电容真空计品牌：成都正华；控制精度：测量值±5%五、安装要求将管式炉、（略）、（略）组装成一套完整CVD材料生长设备，并正常运行。
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