山东大学等离子体增强化学气相沉积系统（第二次）单一来源公告

（略）项目（第二次）以单一来源方式：（略）
一、项目基本情况：
1、（略）：SDJXHD（略）-Z197
2、项目名称：（略）
3、项目预算：990万元人民币。
二、公示内容(详细说明购置理由及单一来源采购理由)：
（略）适用于在低温下在晶圆上沉积钝化层同时实现无损伤的沉积。该设备能够制备高致密度的保护膜作为半导体器件表面保护层，可实现对功率芯片与外界环境的隔绝，包含氧气、水蒸气等，是实现高可靠性功率芯片的重要因素，是衔接芯片制备和下游封装的关键环节。
经用户调研，拟购买SPTS公司的设备能够在200℃以下沉积SiO2薄膜，同时通过沉积阶段引入H2和沉积后H2等离子体处理，分别能够提高SiO2薄膜的致密度和抑制水蒸气在SiO2表面的吸附，对降低漏电流、提高击穿电压具有显著作用，实现107V·cm-1的耐压指标，调研的其他企业都难以实现上述指标。另一方面，拟购设备具有独特的托盘温控设计，为了实现较低温度下托盘的温度均一性，用热空气代替传统的电阻丝加热方式：（略）
三、拟定唯一供应商名称：（略）
四、资格要求：
1.具有本项目生产、制造、供应或实施能力，符合、承认并承诺履行本文件各项规定的供应商均可参加投标。
2.遵守有关的国家法律、法规和条例，具备《中华人民共和国政府采购法》和本文件中规定的条件：
1)具有独立承担民事责任的能力；
2)具有良好的商业信誉和健全的财务会计制度；
3)具有履行合同所必需的设备和专业技术能力；
4)有依法缴纳税收和社会保障资金的良好记录；
5)参加政府采购活动前三年内，在经营活动中没有重大违法记录；
3.单位：（略）
4.本次采购不接受联合体报价。
五、获取：（略）
（略）（（略）.edu.cn/）进行供应商注册，（略）审核通过后，（略）在线提交获取：（略）
六、开标时间：2024年1月19日14点30分。
七、投标流程：
本项目采用电子招投标方式：（略）
八、发布公告媒介
（略）（略）上发布。
九、公告时间：
自本公告发布之日起五个工作日。
十、联系方式：（略）
采购人：（略）
采购机构：（略）
通讯地址：（略）
邮政编码：250100
联系电话：（略）

（略）
2024年1月12日