松山湖材料实验室2024年07月至2024年08月政府采购意向

为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将本单位：（略）
（略）采购项目名称：（略）
1松山湖材料实验室临界点干燥仪设备采购项目标的名称：（略）
标的数量：1
主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下晶片MEMS等器件的临界点干燥工艺。
需满足的要求："需满足的工艺技术指标：1、样品尺寸：2-8寸；2、干燥器件：MEMS器件、生物传感器及各类微机械传感器等;3、干燥介质：液态二氧化碳（LCO2）；4、单次8寸晶圆处理能力：≥5片；5、内置过滤装置，过滤流进样品室的液态二氧化碳：≤0.4um；6、压力范围：0-2000psi；7、温度范围：-30至60℃。"
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位：（略）
2松山湖材料实验室铟蒸发台设备采购项目标的名称：（略）
标的数量：1
主要功能或目标：该设备主要用于微纳加工工艺中8英寸及以下晶片In柱蒸发制备工艺
需满足的要求："主要技术指标和要求：1）样品尺寸：8寸向下兼容，可进行碎片工艺；2）蒸发入射角＜7°；3）工件台可控低温不高于-20℃，控温精度优于±3℃；4）片内均匀性：≤±5%（8寸）；5）工艺重复性：≤±3%；"
遵守落实国家关于节能产品、环保标志产品、促进中小企业发展、残疾人福利性单位：（略）
本次公开的采购意向是本单位：（略）
松山湖材料实验室
2024年07月02日
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https://（略）.gov.cn/zcdservice/zcd/guangdong/
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