下电极射频偏压源,光发射谱终点检测装置,液体前驱体供应系统,激光终点监视仪

项目概况采购类型采购
（略）南海室快招（货）〔2024〕022号
项目名称：（略）
申购主题下电极射频偏压源,光发射谱终点检测装置,（略）,激光终点监视仪
项目类型货物采购项目预算760,000.00(人民币)
采购开始时间（略）:18采购结束时间（略）:00
采购单位：（略）
经办人沈老师经办人电话（略）
期望收货时间合同签订后60天交货
是否送货是送货地址：（略）
电子签章无需使用
备注1、国内供货请报含税人民币价；境外供货（进口）请报免税人民币价或外币价，（略）必须有境外人民币收款账户。2、进口货物中如有国内供货部分，供应商在报价时应分别报价，境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条，并分别签订进口货物购销协议和国内采购合同。3.外贸进口有关的一切费用（包括但不限于外贸代理费用、清关费用、银行手续费、海关监管手续费、报关费用、商检费用、申办机电批文费用、机场码头费等）。”均由中标方承担，需含在投标总价中。其中，“外贸代理费用”（红字部分）（略）（（略））代理手续费，（略）签订的协议执行，中标方收费标准请见附件；其他费用在实际过程中产生，按附件表格标准收取。
采购明细1采购设备下电极射频偏压源
数量1台
参考品牌
（略）（略）条款是否需要附件说明
1功能：为ICPECVD（略）提供下电极射频偏压、主要用于提高台阶覆盖率、特别是实现沟槽填充工艺（TrenchFilling）重要否否
2射频频率：≥13.5MHz，符合SEMI标准非常重要否是
3最大功率：≥300W非常重要否是
4功率分辨率：≤0.2%设置值非常重要否是
5输出阻抗：≤50Ohm重要否否
6配置自动匹配器，可自动或手动匹配非常重要否是
7射频连接接口：标准7/16接口重要否否
8控制模式：正向功率、偏置电压重要否否
9配置开关电源重要否否
10冷却方式：（略）
2采购设备光发射谱终点检测装置
数量1台
参考品牌
（略）（略）条款是否需要附件说明
1功能：采用光发射谱OES检测技术、为ICPECVD（略）的等离子体干法清洗工艺提供终点检测、节约清洗占用时间和工艺气体重要否否
2配置：光发射谱仪、光纤、光纤准直件、石英/蓝宝石窗口、窗口适配器、光谱仪软件重要否否
3波长范围：不小于200~1100nm非常重要否是
4光谱分辨率：≤1.2nm非常重要否是
5模/数转换器：≥16bit非常重要否是
6CMOS探测器：像素≥2048非常重要否是
7集成时间范围：不小于10ms~1min重要否否
8USB接口，数据传输速率：≤1.8ms/scan非常重要否是
9光纤接口：标准SMA905接头重要否否
3（略）
数量1套
参考品牌
（略）（略）条款是否需要附件说明
1功能：为ICPECVD（略）提供TEOS/HMDSO等液体前驱体、实现非硅烷的氧化硅沉积工艺重要否否
2配置：前驱体罐、气动阀、阀门加热盒、氩气质量流量计、（略）控制器、排气口重要否否
3温度操作范围（前驱体罐）：不小于50~100°C非常重要否是
4前驱体罐容积：≥600ml非常重要否是
5TEOS流量：≥5sccm重要否否
6氧化硅生长速率范围：不小于5~50nm/min非常重要否是
7氧化硅折射率范围：不小于1.45~1.48非常重要否是
8电路控制：采用总线控制（busnode）重要否否
9前驱体罐支架板可升降调节空间、适用于不同尺寸的前驱体罐重要否否
4采购设备激光终点监视仪
数量1台
参考品牌
（略）（略）条款是否需要附件说明
1功能：采用反射干涉法原理、实时监测ICPECVD（略）的沉积膜厚值重要否否
2激光波长：≥670nm重要否否
3测量时间：≤1s非常重要否是
4工作距离范围：不小于150~500mm非常重要否是
5光斑尺寸@150mm距离：≤100um非常重要否是
6视场范围@150mm距离：≥（略）重要否否
7带X-Y电动位移台，行程范围：不小于25mmx25mm非常重要否是
8位移台位移分辨率：≤2um重要否否
9光学窗口材料：蓝宝石重要否否
（略）要求名称：（略）
1第1条资质参数符合性参数上传营业执照(副本原件扫描件)是
2第2条资质参数符合性参数填写并按要求上传“廉洁承诺书”（需签字并盖公盖章）是
3第3条资质参数符合性参数填写并要求上传“法定代表人授权书”（需按授权书要求签字并加盖公章）是
4第4条资质参数符合性参数填写并按要求上传“供应商资格声明”（需签字并盖公章）是
5第5条资质参数符合性参数供应商信用-投标（略）站的信用报告;报告中需写明供应商的经营许可范围;若未写明经营许可范围;需再提供佐证材料是
（略）要求名称：（略）
1合同履约该项目对应的付款方式：（略）
2免费保修年限5年及以上4年3年2年是
3产品销售渠道（要求上传“制造厂商出具的授权函”）厂家（生产商）直接销售（出具厂家声明格式自拟）厂家（生产商）长期授权销售（授权书中连续有效期不少于一年）其他授权销售方式：（略）