甬江实验室采购单片式化学清洗机等设备项目国际招标公告（1）

（略）受招标人：（略）
1单片式化学清洗机1套主要用于成膜前/后清洗、刻蚀前/后清洗、离子注入前/后清洗、扩散前/后清洗、标准RCA清洗、晶圆背面清洗，并兼容非金属去胶工艺等。
2全自动去胶剥离机1套主要用于微纳器件Lift-off制备工艺中，用来去除多余的光刻胶及胶上的金属，保留未被光刻胶（略）域的金属图形。
3晶圆清洗机1套主要用于包括晶片炉管前后、化学气相沉积（CVD）前后、物理气相沉积（PVD）前后、化学机械拋光（CMP）前后，以及晶圆背部的水洗工艺，同时用于对外来晶圆的高压水洗、刷片清洁等水洗工艺。
3、投标人资格要求投标人应具备的资格或业绩:投标人必须是投标产品的制造商或投标产品的制造商授权的代理商，如为代理商需提供制造商针对本项目的授权书是否接受联合体投标:不接受未领购招标文件是否可以参加投标:不可以4、招标文件的获取：（略）