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磁控溅射靶枪购置项目(TGU-EBUY
(略))采购公告发布时间:
(略):13:15阅读量:15次
项目名称:
(略)
公告开始日期
(略):13:15公告截止日期
(略):00:00
采购单位:
(略)
联系人:
(略)
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求签约后90个工作日内
预算总价NaN+NaN+NaN未公布
发票要求增值税普通发票增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址:
(略)
供应商资质要求符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明
采购清单1
采购商品采购数量计量单位:
(略)
磁控溅射靶枪2台其他不另分类的物品无无
品牌品牌1
(略)
品牌2
(略)
品牌3
(略)
品牌4
(略)
品牌5
(略)
品牌6
(略)
预算单价¥NaN
技术参数及配置要求1、靶枪需满足10^-7Pa真空环境,金属密封,含配套CF法兰;2、2英寸阴极靶枪,表面均匀布气;3、可弯折,0-60度可调;4、备用强磁组件1套;5、防交叉污染,带密封挡板;6、支持水冷;7、薄膜(SiO2薄膜)片内及片间沉积不均匀性优于±2%@4英寸硅片;8、薄膜粗糙度:沉积CoFe薄膜10nm厚度,粗糙度优于0.2nm;9、价格包含靶枪上门安装调试费用、后期靶枪根据镀膜工艺要求结构改进费用,靶枪安装调试合格后一次性付清。
参考链接
售后服务1.到货:签订合同之日起100天内;2.安装(施工)完成:货到之日起7天内;3.质保:36个月。
(略):13:15
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