磁控溅射靶枪购置项目（TGU-EBUY20240026）采购公告

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磁控溅射靶枪购置项目（TGU-EBUY（略））采购公告发布时间：（略）:13:15阅读量：15次
项目名称：（略）
公告开始日期（略）:13:15公告截止日期（略）:00:00
采购单位：（略）
联系人：（略）
签约时间要求成交后5个工作日内到货时间要求签约后90个工作日内
预算总价NaN+NaN+NaN未公布
发票要求增值税普通发票增值税专用发票
含税要求
送货要求
安装要求
收货地址：（略）
供应商资质要求符合《政府采购法》第二十二条规定的供应商基本条件
公告说明
采购清单1
采购商品采购数量计量单位：（略）
磁控溅射靶枪2台其他不另分类的物品无无
品牌品牌1
（略）
品牌2
（略）
品牌3
（略）
品牌4
（略）
品牌5
（略）
品牌6
（略）
预算单价￥NaN
技术参数及配置要求1、靶枪需满足10^-7Pa真空环境，金属密封，含配套CF法兰；2、2英寸阴极靶枪，表面均匀布气；3、可弯折，0-60度可调；4、备用强磁组件1套；5、防交叉污染，带密封挡板；6、支持水冷；7、薄膜（SiO2薄膜）片内及片间沉积不均匀性优于±2%@4英寸硅片；8、薄膜粗糙度：沉积CoFe薄膜10nm厚度，粗糙度优于0.2nm；9、价格包含靶枪上门安装调试费用、后期靶枪根据镀膜工艺要求结构改进费用，靶枪安装调试合格后一次性付清。
参考链接
售后服务1.到货：签订合同之日起100天内；2.安装（施工）完成：货到之日起7天内；3.质保：36个月。
（略）:13:15
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