氧化镓外延片采购（Dlmu-FS-20240396）单一来源公示

（略）：Dlmu-FS-（略）
项目名称：（略）
公示时间：2024年07月30日-2024年08月02日
拟成交单位：（略）
采购预算：130000
采购内容：（001）HVPE外延4寸氧化镓外延片，共两片衬底主要参数指标：晶向：（001），厚度：620±20微米，衬底电阻0.007~0.042Ωcm外延层主要参数指标：导电类型：ntype，浓度1e16±0.5e16cm-3，厚度10±4微米需原厂切割：一片切割成10×10mm，一片切割成8×8mm。
主要技术指标如下：氧化镓片
描述
参数值
单位：（略）
衬底层参数
衬底厚度
620±20
μm
电阻率
0.007~0.042
Ω・cm
半峰全宽
100轴≦350
arcsec
010轴≦350
arcsec
衬底晶向
001
/
正面抛光
CMP
/
背面抛光
Grinding
/
掺杂
Sn
/
外延层参数
载流子浓度
1±0.5E16
/
外延厚度
10±4
μm
掺杂
Si＋Cl
/
加工参数
精密切割
10×10
mm
精密切割
8×8
mm
单一来源理由：本团队申请购买（001）HVPE外延4寸氧化镓外延片。现在全世界可以做正式产品只有日本NCT和美国Kyma两家，在做研发的有德国IKZ一家以及国内三家，日本NCT（略），也是目前国际上氧化镓品质做的最好的，此公司可提供产品（001）HVPE外延2寸及4寸。美国Kyma公司只能做出上述（010）衬底产品，其他的产品全都没有。德国IKZ目前还在研究阶段，暂时还没产品推出。国内山东大学晶体所，上海光机所、中电46所这3家研究单位：（略）
论证小组成员：曹菲,宋延兴,包梦恬
有关单位：（略）
联系人：（略）
联系电话：（略）
国有资产与实验室管理处
（略）
2024年07月30日