氧化镓器件加工（Dlmu-FS-20240416）单一来源公示

氧化镓器件加工（Dlmu-FS-（略））单一来源公示
（略）：Dlmu-FS-（略）项目名称：（略）
单一来源理由：本次采购的氧化镓器件加工，需要将4吋的氧化镓晶圆切割成8×8mm的方形小片，并以此为衬底制备氧化镓功率器件。器件的加工需要超高真空，采用PEALD方法生长Al2O3薄膜，采用PECVD方法来沉积Si3N4介质层，加工时需要适当的基片加热温度，加工过程需要特定的综合工艺制备方案。另外根据图形化需求，需要加工单位：（略）
论证小组成员：曹菲,宋延兴,包梦恬有关单位：（略）
联系人：（略）
（略）
2024年08月17日