为便于供应商及时了解政府采购信息,根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》(财库〔2020〕10号)等有关规定,现将本单位:
(略)
(略)采购项目名称:
(略)
1
(略)项目标的名称:
(略)
标的数量:1
主要功能或目标:
(略)、教育部基础学科拔尖学生培养计划2.
(略)建设需求。该设备在高真空状态下由电阻丝加热坩埚中的金属,使其熔融后蒸发到所需基片上形成金属膜,是半导体微纳加工设备之一。
需满足的要求:1.优质SUS304不锈钢材料的主腔体和过渡腔体。2.进口分子泵(抽速不小于300L/s)和进口涡旋干泵(抽速不小于4.1L/s),本底真空优于2x10-7mbar(烘烤除气后)。3.进口气动插板阀。4.最大样品4英寸,加热温度500°C。5.4组舟式蒸发源,最高加热温度:1200°C。6.配置膜厚控制仪。7.电脑界面操作,程序智能控制,自动参数记录。实现一人一账户的权限管理。
按规定落实600,000.002024年09月
本次公开的采购意向是本单位:
(略)
华南师范大学
2024年08月18日
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