先之科半导体科技（东莞）有限公司第二次改扩建建设项目 竣工环境保护自主验收意见

2024年09月10日，先之科半导体科技（东莞）（略）根据《先之科半导体科技（东莞）（略）第二次改扩建建设项目竣工环境保护验收监测报告》并对照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》，严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范/指南、本项目环境影响评价报告表和审批部门审批决定等要求对本项目进行验收，提出意见如下：
一、工程建设基本情况
（一）建设地点：（略）
先之科半导体科技（东莞）（略）位（略）1栋、2栋，第二次改扩建后，项目总投资2900万美元，占地面积12868m2，建筑面积40626m2。项目主要从事半导体元器件的加工生产，项目年产夹焊工艺类二极管（PbF）5亿个、夹焊工艺二极管（RoHS）2.5亿个、玻封二极管65亿个、功率半导体元器件（PbF）11亿个、功率半导体元器件（RoHS）1.5亿个、塑封二极管、三极管（中小功率）244亿个。
（二）建设过程及环保审批情况
（略）编制了《先之科半导体科技（东莞）（略）第二次改扩建建设项目环境影响报告表》，并于2023年03月22日通过了（略）。
项目于2020年09月17日首次申请了固定污染源排污登记，于2024年05月20日变更固定污染源排污登记，并取得固定污染源排污登记回执，（略）为：（略）MA5230QG01001Z，有效期为2024年05月20日至2029年05月19日。
先之科半导体科技（东莞）（略）迁扩建项目（一期）项目验收情况：项目一期验收已于2023年03月竣工，调试时间为2023年03月，于2023年03月投入环保验收工作。验收范围：一期验收项目中夹焊工艺类二极管未投入生产，夹焊焊结、超声波清洗工序未建设，11台组装机、2台焊结炉（隧道炉）、3台组装焊结一体机、2台注塑机、1台焗炉烤箱、2台切脚成型机、2台激光去除毛刺机、6台测试刻字上带机、1台超声波清洗机及其配套的槽体（共包括2个清洗槽、2个清水槽）不在本次验收范围内，一期验收的具体设备详见《先之科半导体科技（东莞）（略）迁扩建项目（一期）竣工环境保护验收监测报告》表3-6“项目迁扩建生产设备与实际生产设备对比一览表”。
本次验收情况：项目于2024年06月12日竣工，调试时间为2024年06月12日~2024年09月10日，于2024年06月投入环保验收工作，成立了验收工作组，并进行现场核查，核查结果表明本项目已具备验收条件。
（三）投资情况
项目第二次改扩建后总投资2900万元，其中第二次改扩建后环保投资210万元，项目第二次改扩建后环保投资占第二次改扩建后总投资比例7.24%。
（四）验收范围
①《先之科半导体科技（东莞）（略）迁扩建项目环境影响报告表》一期项目已完成验收，未验收部分为：组装机11台、焊结炉（隧道炉）2台、组装焊结一体机3台、注塑机2台、焗炉烤箱1台、切脚成型机2台、激光去除毛刺机2台、测试刻字上带机6台、超声波清洗机1台及其配套的槽体（共包括2个清洗槽、2个清水槽），对应的生产工序分别为夹焊焊结、超声波清洗工序，对应的产品为夹焊工艺类二极管。本次验收对该未验收部分进行验收；
②《先之科半导体科技（东莞）（略）第二次改扩建建设项目环境影响报告表》全部内容进行验收，项目的生产规模、原辅材料、生产工艺与生产设备等均与环评审批一致，符合验收合格要求。
二、工程变动情况
根据生态环境部办公厅2020年12月13日“关于印发《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》的通知”（环办环评函【2020】688号），根据现场勘查结果并对照项目环评及批复，项目选址、产品和产能、生产工艺与环评及其批复的内容一致，无发生变动。
三、环境保护设施建设情况
（一）废水
1、生产废水：项目生产废水包括晶片切割及产品切割废水、夹焊超声波清洗废水。
①晶片切割及产品切割废水：项目晶片切割及产品切割过程中会产生少量晶片切割及产品切割废水，主要污染物为pH值、SS、CODcr、BOD5、氨氮、总磷、LAS。项目晶片切割及产品切割废水经配套的废水处理装置处理后，全部回用晶片切割及产品切割工序。
晶片切割及产品切割废水处理工艺流程图如下图1：
图1晶片切割及产品切割废水处理工艺流程图
②夹焊超声波清洗废水：项目的超声波清洗机对夹焊焊结后的工件进行清洗加工，主要污染物为pH值、SS、CODcr、BOD5、氨氮、总磷、LAS。项目夹焊超声波清洗废水经配套的废水处理装置处理后，69.79%（104.264t/a）回用于夹焊焊结清洗工序，剩余30.21%（45.136t/a）二级RO（略）回收处理，不外排。
夹焊清洗废水处理工艺流程图如下图2：
图2夹焊清洗废水处理工艺流程图（单位：（略）
3、水喷淋装置定期补充水：项目使用水喷淋装置处理颗粒物。项目水喷淋用水循环使用，不外排；
4、生物滴滤装置用水：项目使用生物滴滤+活性炭吸附装置处理印字及设备清洁工序废气。项目生物滴滤装置用水循环使用，不外排；
5、纯水制备产生的浓水：纯水制备的二级RO和EDI系统过程中会产生少量的浓水。项目纯水制备浓水污染物含量极少，较为洁净，可作为清净下水（略）（略）；
6、纯水制备产生的反冲洗水：项目纯水机每月反冲洗一次，（略）回收处理，不外排；
7、生活污水：项目生活污水经三级化粪池处理后，（略）（略），进入（略）寮步竹园污水处理厂处理后排放。
（二）废气
本项目为第二次改扩建项目，由于需要进行大气专项评价，故需要全厂分析。
1、注塑、银胶烘烤及绝缘胶烘烤工序废气：项目注塑过程中会对环氧树脂进行加热，此过程会产生有机废气，其主要成分为非甲烷总烃；在注塑工序中除了有机废气外，相应的会伴有明显的异味，以臭气浓度计；项目银胶、绝缘胶烘烤过程中由于银胶、绝缘胶的受热作用会产生少量有机废气，其主要成分为TVOC；项目塑封二极管、三极管（中小功率）、夹焊工艺类二极管产品在进行激光去毛刺加工过程中会产生废气，其主要污染物为烟尘颗粒物。项目注塑、银胶烘烤及绝缘胶烘烤、激光去毛刺工序废气经收集后经过“水喷淋+生物滴滤+活性炭吸附”处理后高空排放（（略）：DA001）；
2、印字及设备清洁过程废气：项目印字过程中由于油墨的使用会挥发产生有机废气，其主要成分为非甲烷总烃；项目印字设备清洁过程中由于强力清洗液的使用会挥发产生有机废气，其主要成分为TVOC。项目印字及设备清洁废气经收集后经过“生物滴滤+活性炭吸附”处理后高空排放（（略）：DA002）；
3、夹焊焊结、超声波清洗工序废气：项目夹焊焊结过程中由于有铅锡膏、无铅锡膏的使用会产生废气，其主要成分为铅及其化合物、锡及其化合物，同时有铅锡膏中含有助焊剂，故废气中的主要成分还包括TVOC；项目超声波清洗过程中由于无水乙醇、清洗剂的使用会挥发产生有机废气，其主要成分为TVOC。项目夹焊焊结、超声波清洗工序有机废气经收集后经过“水喷淋+二级活性炭吸附”处理后高空排放（（略）：DA003）；
4、刻字工序废气：项目产品进行刻字加工过程中会产生废气，其主要污染物为烟尘颗粒物。项目刻字工序废气经收集后引至脉冲滤筒过滤装置处理后高空排放（（略）：DA004）；
5、浸锡工序废气：项目浸锡工序加工过程中会产生废气，主要污染物为锡及其化合物。项目浸锡工序废气经收集后引至水喷淋除尘装置进行处理后高空排放（（略）：DA005）；
6、玻壳粉熔化、玻壳拉管及干割工序废气：项目玻壳粉熔化、玻壳拉管及干割工序加工过程中会产生废气，主要污染物为颗粒物。项目玻壳粉熔化、玻壳拉管及干割工序废气经收集后引至水喷淋除尘装置处理后高空排放（（略）：DA006）；
7、晶片切割及产品切割工序废气：项目晶片切割及产品切割工序加工过程中会产生粉尘水雾，以颗粒物计。项目晶片切割及产品切割工序废气经收集后引至水喷淋除尘装置处理后高空排放（（略）：DA007）；
8、实验室废气：本项目实验过程使用硫酸、硝酸进行样品预处理、检测过程产生少量硫酸雾、氮氧化物。项目实验室废气经收集后引至碱液喷淋装置处理后高空排放（（略）：DA008）；
9、引线生产工序废气：项目引线生产工序加工过程中会产生废气，主要污染物为颗粒物。项目引线生产工序废气经收集后引至滤筒过滤装置进行处理后排放，不设排气筒。
（三）噪声
项目噪声主要来自工艺设备、通风设备和空压机等辅助设备运行产生的噪声，工艺设备运行产生噪声值约为65~85dB（A）。项目通过合理布局、隔声、吸声、减震等措施，以及墙体隔声、距离衰减等措施，项目厂界噪声可达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB（略））3类标准要求。
（四）固体废物
项目主要的固体废物为一般工业固体废物、员工生活垃圾和危险废物。
1、生活垃圾：项目生活垃圾主要成份是废纸、布类、皮革、瓜果皮核、饮料包装瓶、塑料等。生活垃圾由环卫部门运走；
2、一般工业固体废物：项目的一般工业固体废物主要是塑胶边角料、金属框架边角料、电子器件次品、捞渣、生物滴滤污泥、废滤筒、废滤芯、废包装材料。（略）（（略））回收处理；
3、危险废物：项目的危险废物主要是废活性炭、化学品原料包装物、废印刷版、废UV灯管、实验室废液。项目的危险废物经分类收集后交有资质单位：（略）
四、环境保护设施调试效果
（一）环保设施调试运行效果
2024年06月25日~2024年06月28日，先之科半导体科技（东莞）（略）对先之科半导体科技（东莞）（略）第二次改扩建项目进行了验收监测，验收监测期间正常开工，设备正常运行，工况达到75.4%~85.3%，满足验收检测工况要求。
验收监测期间，注塑、银胶烘烤及绝缘胶烘烤、激光去毛刺工序废气排气筒（DA001）工序废气处理设施对非甲烷总烃的处理效率为81.2%~89.3%；印字及设备清洁工序废气排气筒（DA002）废气处理设施对总VOCs的处理效率为85.6%~92.7%，对非甲烷总烃的处理效率为81.0%~90.0%；夹焊焊结、超声波清洗工序废气排气筒（DA003）废气处理设施对锡及其化合物的处理效率为37.2%~56.8%；浸锡工序废气排气筒（DA005）废气处理设施对锡及其化合物的处理效率为36.4%~53.9%；玻壳粉熔化、玻壳拉管及干割工序废气排气筒（DA006）废气处理设施对颗粒物的处理效率为81.5%~86.6%；实验室废气排气筒（DA008）废气处理设施对氮氧化物的处理效率为18.3%~34.8%，对硫酸雾的处理效率为85.7%~92.7%。
根据《先之科半导体科技（东莞）（略）第二次改扩建建设项目环境影响报告表》（（略）：东环建【2023】2320号），项目注塑、银胶烘烤及绝缘胶烘烤、激光去毛刺工序废气处理设施（水喷淋+生物滴滤+活性炭吸附装置）对非甲烷总烃的处理效率取85%；印字及设备清洁工序废气处理设施（生物滴滤+活性炭吸附）对挥发性有机物的处理效率取85%；夹焊焊结、超声波清洗工序废气处理设施（水喷淋+二级活性炭吸附）对锡及其化合物的处理效率取50%；浸锡工序废气处理设施（水喷淋除尘装置）对锡及其化合物的处理效率取50%；玻壳粉熔化、玻壳拉管及干割工序废气处理设施（水喷淋除尘装置）对颗粒物的处理效率取85%；实验室废气处理设施（碱液喷淋装置）对氮氧化物的处理效率取30%、对硫酸雾的处理效率取90%。项目各废气处理设施对其排放口的污染因子的处理效率基本符合要求。
（二）污染物排放情况
（略）在2024年06月25日~2024年06月28日对先之科半导体科技（东莞）（略）第二次改扩建项目验收监测出具的监测报告（（略）：DQ-（略）、DQ-（略）），根据监测结果可得以下结论：
1、废水：
项目生活污水排放口污水中悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、氨氮、总磷、阴离子表面活性剂排放符合验收执行标准广东省《水污染物排放限值》（DB44/26-2001）表4第二类污染物最高允许排放浓度（第二时段）三级标准和《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T（略））表1污水排入城镇下水道水质控制项目限值B级标准的较严值要求；
项目夹焊超声波清洗废水回用水集水桶，晶片切割及产品切割废水回用水集水桶中pH值、悬浮物、五日生化需氧量监测结果符合验收执行标准《城市污水再生利用工业用水水质》（GB/T（略））表1再生水用作工业用水水源的水质标准（洗涤用水）要求。
2、废气：
（1）项目注塑、银胶烘烤及绝缘胶烘烤、激光去毛刺工序废气排气筒（DA001）中非甲烷总烃排放符合验收执行标准《合成树脂工业污染物排放标准》（GB（略））及其修改单表5大气污染物特别排放限值要求，颗粒物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）二级要求，臭气浓度排放符合验收执行标准《恶臭污染物排放标准》（GB（略））表2恶臭污染物排放标准要求；无组织排放中非甲烷总烃排放符合验收参照标准《合成树脂工业污染物排放标准》（GB（略））表9企业边界大气污染物浓度限值要求，颗粒物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）无组织排放监控浓度限值要求，臭气浓度排放符合验收执行标准《恶臭污染物排放标准》（GB（略））表1恶臭污染物厂界标准值（二级新扩改建）要求；
（2）项目印字及设备清洁工序废气排气筒（DA002）中总VOCs排放符合验收执行标准广东省《印刷行业挥发性有机化合物排放标准》（DB44/（略））排气筒VOCs排放限值（Ⅱ时段）（凹版印刷、凸版印刷、丝网印刷、平版印刷（以金属、陶瓷、玻璃为承印物的平版印刷）要求，非甲烷总烃排放符合验收执行标准《印刷工业大气污染物排放标准》（GB（略））表1大气污染物排放限值要求；无组织排放中总VOCs排放符合验收执行标准广东省《印刷行业挥发性有机化合物排放标准》（DB44/（略））无组织排放监控点浓度限值要求；
（3）项目夹焊焊结、超声波清洗工序废气排气筒（DA003）中锡及其化合物、铅及其化合物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）二级要求，无组织排放中锡及其化合物、铅及其化合物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）无组织排放监控浓度限值要求；
（4）项目刻字工序废气排气筒、晶片切割及产品切割工序废气排气筒（DA007）中颗粒物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）二级要求；无组织排放中颗粒物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）无组织排放监控浓度限值要求；
（5）项目浸锡工序废气排气筒（DA005）中锡及其化合物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）二级要求；无组织排放中锡及其化合物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）无组织排放监控浓度限值要求；
（6）项目玻壳粉熔化、玻壳拉管及干割工序废气排气筒（DA006）中颗粒物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）二级和《关于贯彻落实<工业窑炉大气污染综合治理方案>的实施意见》（粤环函【2019】1112号）中大气污染物排放限值较严值要求；无组织排放中颗粒物排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）无组织排放监控浓度限值、《工业窑炉大气污染物排放标准》（GB（略））表3其他窑炉排放限值要求；
（7）项目实验室废气排气筒（DA008）中氮氧化物、硫酸雾排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）二级要求；无组织排放中氮氧化物、硫酸雾排放符合验收执行标准广东省《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）表2工艺废气大气污染物排放限值（第二时段）无组织排放监控浓度限值要求；
（8）厂区内VOCs无组织排放中非甲烷总烃排放符合验收参照标准广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》（DB44/（略））表3厂区内VOCs无组织排放限值和印刷工业大气污染物排放标准》（GB（略））表A.1厂区内VOCs无组织排放限值的较严值要求。
3、噪声：
项目测点位置厂界环境噪声排放符合验收执行标准《工业企业厂界环境噪声排放标准》（GB（略））表1工业企业厂界环境噪声排放限值（厂界外声环境（略）3类）要求。
4、工业固体废物：
项目一般工业固体废物、危险废物已遵照《一般工业固体废物贮存和填埋污染控制标准》（GB（略））、《国家危险废物名录》（2021版）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB（略））等相关要求。
五、工程建设对环境的影响
（略）出具的监测报告结果，验收期间本项目各类污染物均能达标排放，一般固废、危险废物均得到妥善处理处置，项目对周边环境影响较小。
六、验收结论
先之科半导体科技（东莞）（略）第二次改扩建项目的环境影响报告表经批准后，其经营性质、规模、地点：（略）
七、后续要求
1、建设单位：（略）
2、积极配合各级环保部门做好该项目的日常环境保护监管工作，对该项目污染防治有新要求的，应按新要求执行；
3、按国家、省、市关于信息公开的法律法规及文件要求，做好相关环境信息公开工作。
先之科半导体科技（东莞）（略）
2024年09月10日
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附件3：先之科半导体科技（东莞）（略）（第二次改扩建）验收报告.pdf60.9MB,下载次数0
附件4：先之科半导体科技（东莞）（略）（第二次改扩建）其他需要说明的事项.pdf940.4KB,下载次数0
附件5：先之科半导体科技（东莞）（略）（第二次改扩建）自主验收意见.pdf3.9MB,下载次数0