[BA202401238]光刻机采购计划

您好，（略）上直采！你好，（略）上直采!
帮助指南
[BA（略）]光刻机采购计划备案成交公告发布时间：（略）:42:00
（略）BA（略）项目名称：（略）
经办人单位：（略）
预算金额275000.00人民币成交金额275000.00人民币
（略）质保期24月
联系地址：（略）
付款方式：（略）
供应商联系手机（略）交货时间成交单签订后30天内交货
交货地址：（略）
交货方式：（略）
包装及运费由乙方免费提供及承担
验收方式：（略）
售后服务要求1.质保期：货到验收合格之日起24个月2.售后服务提供商：（略）3.售后服务机构情况：规模（技术人员人数）：40人联系人：（略）
采购材料光刻机自主评审报告.pdf
明细清单采购品目其他电工、电子生产设备品牌名称：（略）
名称：（略）
（略）Cchip-0019数量1
计量单位：（略）
单价275000.00人民币总价275000.00人民币
主要技术参数1）曝光面积：110mm×110mm2）曝光波长：365nm：40mW/cm23）分辨力：0.8um4）对准采用双视场对准显微镜：通过CCD+显示器对准，光学合像，光学+电子放大400倍5）显微镜扫描范围：X：±50mm，Y：±20mm6）对准精度：±0.5um7）掩模尺寸：3英寸、4英寸、5英寸8）样片尺寸：2英寸、3英寸、4英寸；厚度0.1mm--5mm9）曝光方式：（略）