2024年11月采购意向项目-电子束曝光机（650万）

政府采购意向公告
华南理工大学2024年11月采购意向项目-电子束曝光机（650万）政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《财政部关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕10号）等有关规定，现将华南理工大学2024年11月采购意向项目-电子束曝光机（650万）采购意向公开如下：
（略）采购项目名称：（略）
1电子束曝光机A（略）电子工业生产设备采购电子束曝光机1台，实现最小线宽20nm的线（略）温度波动±0.5℃情况下，8小时内束流稳定性≤0.5%；6.束斑位置稳定性：每小时≤150nm；7.图形发生器扫描频率：不小于20MHz；8.写场尺寸：10μm~500μm可调节；9.最小线宽：≤20nm；10.拼接精度：（略）-11
≤（略）@100μm写场；11.套刻精度：≤（略）@100μm写场；12.工件台行程：X方向0~100mm、Y方向0~100mm；13.最大可加工样品尺寸：4寸；同时提供不同规格小样品的夹具；14.配置激光干涉仪、（略）、（略），进样的时间≤10分钟；15.配置分辨率≤50ns的超快脉冲控制模块和闭环分辨率≤5nm的纳米位移台；16.配置UPS电源；17.配置1Hz以上振动频率的主动-被动集成式减振装置；
本次公开的采购意向是本单位：（略）
华南理工大学（略）